[发明专利]一种单方向发射的电泵浦氮化镓微激光器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种单方向发射的电泵浦氮化镓微激光器及其制备方法。该方法首先利用在硅基p型氮化镓/量子阱/n型氮化镓材料，利用电子束刻蚀工艺和深硅刻蚀工艺制备由单根悬臂梁支撑的非对称氮化镓悬空薄膜微腔，在晶片正面蒸镀上Au/Ni电极，在n型氮化镓表面蒸镀Au/Ti，采用超声波键合技术，在电极表面键合引线，最终制备完整的器件。对制备的器件施加合适的电流，获得单方向性发射的回音壁模紫外激光。

主权项

一种单方向发射的电泵浦氮化镓微激光器，其特征在于，该器件以硅基氮化物晶片为载体，包括硅衬底层（1）、设置在所述硅衬底层（1）上表面一侧边缘的p型氮化镓平台、与所述p型氮化镓平台连接的p型氮化镓悬臂梁、与所述p型氮化镓悬臂梁连接的非对称薄膜微腔结构，所述非对称薄膜微腔结构的上表面中心蒸镀有沉积金属材料为Au/Ni的p型区电极（5），所述p型氮化镓平台上表面蒸镀有沉积金属材料为Au/Ti的n型区电极（6），所述非对称薄膜微腔结构下方设置有贯穿硅衬底层（1）的空腔，使得非对称薄膜微腔结构和p型氮化镓悬臂梁完全悬空；所述非对称薄膜微腔结构由从下至上依次连接设置的n型氮化镓层（2）、量子阱层（3）和p型氮化镓层（4）构成，包括圆形或圆环形的本体、设置在所述本体周向外侧的突出锥角，所述突出锥角由本体圆周切线、本体圆周上弧线和本体外的弧线围成，所述本体外的弧线与本体圆周相交的夹角为锐角。