[发明专利]一种石墨烯的表征方法有效
| 申请号： | 201410181069.9 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN105021621B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张燕辉;于广辉;陈志蓥;王斌;隋妍萍;张浩然;张亚欠;李晓良 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N1/32 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石墨烯的表征方法，至少包括以下步骤：提供一形成于衬底上的石墨烯，将所述石墨烯连同其下的衬底一起放入腐蚀性溶液中浸泡预设时间，然后取出所述石墨烯及所述衬底，将所述衬底放置于显微镜下，观测所述衬底上石墨烯的表面形貌，并根据所述石墨烯下方所述衬底的腐蚀程度判断所述石墨烯表面的破损情况。本发明的石墨烯表征方法通过低倍显微镜就可以检验石墨烯表面是否存在微小尺寸的破损，表征范围大、可重复性高、简单易行，可以有效降低表征成本，提高表征效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 表征 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯的表征方法，其特征在于，至少包括以下步骤：提供一形成于衬底上的石墨烯，将所述石墨烯连同其下的衬底一起放入腐蚀性溶液中浸泡预设时间，然后取出所述石墨烯及所述衬底，将所述衬底放置于显微镜下，观测所述衬底上石墨烯的表面形貌，并根据所述石墨烯下方所述衬底的腐蚀程度判断所述石墨烯表面的破损情况，其中，当所述石墨烯有破损时，所述石墨烯破损处的衬底在所述腐蚀性溶液浸泡过程中发生溶解现象而被腐蚀，且所述衬底的腐蚀区域从所述石墨烯破损处向周围延伸，失去所述衬底支撑的所述石墨烯破损处的部分边缘破碎并脱离所述石墨烯，间接放大破损尺寸。
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