[发明专利]高能量精度的高频加速式离子加速/传输装置

摘要

本发明提供具有能量宽度的射束的高精度能量分析技术。本发明的高能量精度的高频加速式离子加速/传输装置为通过相对于设定射束能量具有能量宽度即能量分布的高频加速式加速系统进行离子束的加速后的射束线，且具备能量分析用偏转电磁铁和横向射束会聚要件。离子加速/传输装置进一步在通过能量分析用偏转电磁铁和横向射束会聚要件而使得能量分散和射束尺寸适当的位置，设置有包括能量宽度限制狭缝和能量分析狭缝的双狭缝，双狭缝进行能量分离和能量限制，通过一边抑制束电流量的减少，一边调整为更小的能量宽度，从而缩小离子束的能量宽度来实现所需能量精度。

主权项

一种高能量精度的高频加速式离子加速/传输装置，其为通过相对于设定射束能量具有能量宽度的高频加速式加速系统进行离子束的加速后的射束线，所述装置的特征在于，具备能量分析用偏转电磁铁和横向射束会聚要件，进一步在通过所述能量分析用偏转电磁铁和所述横向射束会聚要件而使得能量分散和射束尺寸成为希望的值的位置设置有包括能量宽度限制狭缝和能量分析狭缝的双狭缝，所述双狭缝进行能量分离和能量限制，一边抑制束电流量的减少，一边调整为更小的能量宽度，由此缩小所述离子束的能量宽度来实现所需能量精度。