[发明专利]一种内嵌式高温无线压力传感器在审
| 申请号： | 201410182582.X | 申请日： | 2014-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN103926026A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王凌云;周如海;蔡建法;郑成;何勇;陈丹儿 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10;G01L9/12 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种内嵌式高温无线压力传感器，涉及一种压力传感器。设有压力敏感膜、传感器上盖板、电容上下极板、电感线圈、传感器基座与压力参考腔；传感器上盖板上开有方形槽，构成压力敏感膜，传感器上盖板背面制作有电容上极板；传感器基座上开有回形槽，电容下极板与电感线圈制作在传感器基座上，电容下极板上表面与电感线圈上表面平齐，而电感线圈制作在回形槽中；电容上极板、电容下极板与电感线圈均由掺杂金属的硅制作而成，电容上极板与电容下极板构成平行板电容器，电容上极板与电感线圈上分别引出上下层导线，传感器上盖板与传感器基座键合，上下层导线紧密接触，使得电容上极板、电感线圈与电容下极板串联构成标准RLC回路并形成压力参考腔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内嵌式 高温 无线 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种内嵌式高温无线压力传感器，其特征在于设有压力敏感膜、传感器上盖板、电容上极板、电容下极板、电感线圈、传感器基座与压力参考腔；所述传感器上盖板上开有方形槽，构成压力敏感膜，传感器上盖板背面设有电容上极板；所述传感器基座上开有回形槽，电容下极板与电感线圈设在传感器基座上，电容下极板上表面与电感线圈上表面平齐，电感线圈设在回形槽中；电容上极板与电容下极板构成平行板电容器，所述电容上极板与电感线圈上分别引出上层导线和下层导线，传感器上盖板与传感器基座键合，上层导线与下层导线紧密接触，使得电容上极板、电感线圈与电容下极板串联构成标准RLC回路并形成压力参考腔。
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