[发明专利]光学系统波前主动补偿装置

摘要

本发明公开了一种光学系统波前主动补偿装置，属于光学系统的像差补偿技术领域。解决了现有技术中波前主动补偿装置结构复杂、成本昂贵的问题。本发明的光学系统波前主动补偿装置包括玻璃镜片、电控系统和多个温度调节装置，多个温度调节装置固定在玻璃镜片的表面上，电控系统控制多个温度调节装置的输入功率。本发明的补偿装置通过调节玻璃镜片的温度分布从而改变镜片波前的主动补偿，装置简单，对口径没有限制，且适用于精密光学系统中，主要用于补充光学系统的Zernike像差。

主权项

光学系统波前主动补偿装置，其特征在于，包括玻璃镜片(1)、电控系统和多个温度调节装置(2)；所述玻璃镜片(1)的波前变化量用Zernike多项式表示，玻璃镜片(1)在单个温度控制区域、单位输入功率下的波前响应wi，记为式(3)：wi＝(z1,z2,…,zN)                 式(3)任意功率输入下玻璃镜片(1)的波前变化量记为式(4)：式(3)和(4)中，N表示zernike多项式的项数，m为温度控制区域的数量，P为系数矩阵，W为产生的波前，δW为残差；所述多个温度调节装置(2)固定在玻璃镜片(1)的表面上，所述多个温度调节装置(2)以玻璃镜片(1)的光轴为中心线，按圆周分布；所述电控系统控制多个温度调节装置(2)的输入功率。