[发明专利]一种状态可自锁定的大位移MEMS光开关

摘要

本发明涉及一种状态可锁定的大位移MEMS可调谐光开关器件及其制作方法，MEMS光开关包括基片、第一梳齿、第二梳齿、第一变形梁、第二变形梁、第一自锁结构、第二自锁结构、微反射镜面、锚点和信号引线，对第一梳齿施加驱动信号时，通过所述第一变形梁和第二变形梁的弯曲带动微反射镜面以及第一自锁结构同时沿锁定方向移动，与第二自锁结构实现相互锁定，第二梳齿运动时带动第二自锁结构同时沿解锁方向移动，实现与第一自锁结构的锁定解除。本发明实现了微镜面的大位移运动和光开关状态的自锁定。

主权项

一种状态可自锁定的大位移MEMS光开关，包括基片、第一梳齿、第二梳齿、第一变形梁、第二变形梁、自锁结构、微反射镜面、锚点和信号引线，其特征在于：所述自锁结构由第一自锁结构和第二自锁结构组成，第一自锁结构与微反射镜面连接，第二自锁结构与第二梳齿连接；所述第一自锁结构与第二自锁结构的端部均设有耦合锁定结构，用于实现两者之间的相互锁定和解锁；所述第一变形梁的一端与所述第一梳齿连接，另一端与微反射镜面连接；所述第二变形梁的一端与所述微反射镜面连接，另一端与固定在基片上的锚点连接；所述信号引线与第一梳齿和第二梳齿连接，用于施加信号控制第一梳齿和第二梳齿的运动；所述第一梳齿、第二梳齿、微反射镜面、第一自锁结构、第二自锁结构、第一变形梁和第二变形梁运动时的移动方向在同一平面内；所述第一自锁结构的移动方向为锁定方向，所述第二自锁结构的移动方向为解锁方向；对所述第一梳齿施加驱动信号时，所述第一梳齿沿第一变形梁的长度方向运动，并通过所述第一变形梁和第二变形梁带动所述微反射镜面以及所述第一自锁结构同时沿所述锁定方向移动；所述第二梳齿运动时带动第二自锁结构同时沿所述解锁方向移动。