[发明专利]一种检测装置和方法

摘要

本发明实施例提供一种检测装置和方法，涉及薄膜场效应晶体管制造技术领域，解决了在检测基板上的ID图形的位置时，采用人工查看导致ID图形存在位置偏差或错误的问题，避免了生产事故的发生，提高了工作效率。该装置包括：光源发出第一光信号为基板提供光亮；第一影像信息获取设备位于基板上的第一ID图形的上方，将接收到的第一光信号发射至基板并获取第一光信号发射到基板上的第一ID图像的边沿和基板的边沿产生的第一图像光信号，将第一图像光信号发射至第一分光片；第一分光片将第一图像光信号发射至第一CCD；第一CCD对第一图像光信号进行波峰分析，得到基板上的第一ID图形的边沿与基板边沿之间的距离。本发明应用于基板检测中。

主权项

一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：光源、第一影像信息获取设备、第一电荷耦合器件CCD和第一分光片，其中：所述光源，用于发出第一光信号，为所述基板提供光亮；所述第一影像信息获取设备位于所述基板上的第一ID图形的上方，用于将接收到的所述光源发射的所述第一光信号发射至所述基板，并获取所述第一光信号发射到所述基板上的所述第一ID图像的边沿和所述基板的边沿产生的第一图像光信号，并将所述第一图像光信号发射至所述第一分光片；所述第一分光片，用于将所述第一图像光信号发射至所述第一CCD；所述第一CCD，用于对接收到的所述第一图像光信号进行波峰分析，得到所述基板上的所述第一ID图形的边沿与所述基板的边沿之间的距离。