[发明专利]一种调焦调平信号的归一化方法及装置有效
| 申请号： | 201410190738.9 | 申请日： | 2014-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN105093837B | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 顾俊;王海江;程鹏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/042 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光刻机用调焦调平信号的归一化方法，其特征在于，包括步骤步骤一、对经过自动调整的输入电压信号 滤波后分压，形成一分压后输出电压信号V1；步骤二、利用一增益调整信号V2对所述分压后输出电压信号V1进行调整，以实现调整后输出信号Vino的信号归一化；其中，所述增益调整信号V2根据所述输出信号Vino与一参考信号Vref的比较而改变。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 平信 归一化 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻机用调焦调平信号的归一化方法，其特征在于，包括步骤：使用一滤波器，对一输入信号VPGA滤波；使用一分压电路，对所述滤波器的输出信号进行分压后形成分压后输出电压信号V1；使用一模拟运算电路，利用一增益调整信号V2对所述分压后输出电压信号V1进行调整，以实现调整后输出信号Vino的信号归一化；使用一峰值检测电路，检测所述输出信号Vino的峰值电压Vpeak；使用一减法器电路，获得一参考信号Vref和所述峰值电压Vpeak之差；使用一积分电路，对所述减法器电路的输出信号反向积分并形成所述增益调整信号V2。
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