[发明专利]具有增大后腔的MEMS装置在审
| 申请号： | 201410191389.2 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104080034A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | W·康克林 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有增大后腔的微机电系统(MEMS)装置。微机电系统(MEMS)麦克风组件包括基底和盖件，该盖件联接至所述基底并且与所述基底一起限定空腔。所述基底形成有凹部，该凹部的尺寸和形状能够容纳MEMS管芯。该MEMS管芯包括振动膜和背板。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 增大 mems 装置 | ||
【主权项】：
一种微机电系统麦克风组件，即MEMS麦克风组件，包括：基底；盖件，该盖件联接至所述基底并且与所述基底一起限定空腔；其中，所述基底形成有凹部，该凹部的尺寸和形状能够容纳MEMS管芯，该MEMS管芯包括振动膜和背板。
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