[发明专利]一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器及其方法有效
| 申请号： | 201410195031.7 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103954305A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 谢金;赵久烜 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器及其方法。它包括锚点、双端固定音叉谐振单元、驱动电极、感应电极、两个柔性杠杆、电荷输入端，双端固定音叉谐振单元的一端与锚点相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠杆包括相互连接的柔性杠杆支点、柔性杠杆输入端、柔性杠杆输出端，双端固定音叉谐振单元与驱动电极、感应电极相耦合，柔性杠杆与电荷输入端相耦合。采用双端固定音叉作为谐振单元，谐振时的能量损失小；通过柔性杠杆放大由输入电荷引起的静电力，增大谐振频率的改变量，得到较高的分辨率，能够测得微小的电荷量；器件的结构简单，可以在室温环境下工作，易于实现批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 柔性 杠杆 mems 谐振 电荷 传感器 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器，其特征在于包括锚点（1）、双端固定音叉谐振单元（2）、驱动电极（3）、感应电极（4）、两个柔性杠杆、电荷输入端（8），双端固定音叉谐振单元（2）的一端与锚点（1）相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠杆包括相互连接的柔性杠杆支点（5）、柔性杠杆输入端（6）、柔性杠杆输出端（7），双端固定音叉谐振单元（2）与驱动电极（3）、感应电极（4）相耦合，柔性杠杆与电荷输入端（8）相耦合。
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