[发明专利]掩膜板及其制造方法有效
| 申请号： | 201410195772.5 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103981485A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 潘晟恺 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜板及其制造方法，属于显示技术领域。其中，所述掩膜板，包括：金属基材，所述金属基材上设置有至少一个第一镂空区域；有机覆盖层，所述有机覆盖层上设置有至少一个第二镂空区域，所述第二镂空区域的投影位于所述第一镂空区域内；所述有机覆盖层部分或全部覆盖所述金属基材。本发明的技术方案能够利用激光切割机台制造出高精度掩膜板，并且制造出的高精度掩膜板具有较好的开口精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，其特征在于，包括：金属基材，所述金属基材上设置有至少一个第一镂空区域；有机覆盖层，所述有机覆盖层上设置有至少一个第二镂空区域，所述第二镂空区域的投影位于所述第一镂空区域内；所述有机覆盖层部分或全部覆盖所述金属基材。
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