[发明专利]一种高功率半导体激光器的扩束装置

摘要

本发明提供一种高功率半导体激光器的激光扩束装置，可实现大倍率的扩束，结构简单紧凑，体积小，成本较低。其中一种扩束装置，包括沿光路依次设置的半导体激光器叠阵、准直透镜组和分光系统，所述分光系统包括沿半导体激光器叠阵堆叠高度方向依次设置的n个分光镜以及最后设置的一个全反射镜，其中第1个分光镜与半导体激光器叠阵堆叠高度相当，n个分光镜以及全反射镜平行等间隔排列，与半导体激光器叠阵出光方向成30‑60°设置；第1个分光镜的透射光与其余n‑1个分光镜以及全反射镜的反射光共同形成激光扩束；n个分光镜的光透过率不同，使得第1个分光镜的透射光能量与其余n‑1个分光镜以及全反射镜的反射光能量相等。

主权项

一种高功率半导体激光器的扩束装置，其特征在于：包括沿光路依次设置的半导体激光器叠阵、准直透镜组和分光系统，所述半导体激光器叠阵由若干个半导体激光单元堆叠组成，所述分光系统包括沿半导体激光器叠阵堆叠高度方向依次设置的n个分光镜以及最后设置的一个全反射镜，其中第1个分光镜与半导体激光器叠阵堆叠高度相当，n个分光镜以及全反射镜平行等间隔排列，与半导体激光器叠阵出光方向成30‑60°设置；第1个分光镜的透射光与其余n‑1个分光镜以及全反射镜的反射光共同形成激光扩束；n个分光镜的光透过率不同，使得第1个分光镜的透射光能量与其余n‑1个分光镜以及全反射镜的反射光能量相等：第1个分光镜的透过率为1/(n+1)，反射率为n/(n+1)；第m个分光镜的透过率为(n‑m+1)/(n‑m+2)，反射率为1/(n‑m+2)；其中，n为分光镜总个数，m为分光镜的排列序号，1<m≤n，排列序号按照激光依次通过的顺序进行排号。