[发明专利]一种籽晶夹持杆的冷却方法无效
| 申请号： | 201410197342.7 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN103938267A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 刘世全;周显智;王展航 | 申请（专利权）人： | 深圳晶蓝地光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518106 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种籽晶夹持杆的冷却方法，属于熔体籽晶法单晶生长设备技术领域。主要包括籽晶夹持杆、籽晶夹头、冷却水管道，其特征在于：冷却水道与籽晶夹持杆同轴，冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触。本发明避免了冷却水进、出的动能对称重的影响，便于晶体结晶的过程控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 夹持 冷却 方法 | ||
【主权项】：
一种籽晶夹持杆的冷却方法，主要包括籽晶夹持杆、籽晶夹头、冷却水管道，其特征在于：冷却水道与籽晶夹持杆同轴，冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触。
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