[发明专利]一种ZrNbAlN超晶格涂层及制备方法有效
| 申请号： | 201410198397.X | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN103938157A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 石永敬;万新;潘复生;周安若;王联;王纯祥 | 申请（专利权）人： | 重庆科技学院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;B23B27/00 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 401331 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ZrNbAlN超晶格涂层，以及涂有该涂层的刀具和工模具及制备方法。该超晶格涂层依次包括Zr粘附层，ZrNx过渡层，ZrN支持层以及ZrN/NbN/ZrN/AlN(ZrNbAlN)多层结构。本发明的涂有ZrNbAlN超晶格涂层的刀具和工模具，其涂层的硬度高、耐磨性好、摩擦系数低、高温结构及性能的稳定性好，抗氧化能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 zrnbaln 晶格 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种ZrNbAlN超晶格涂层，依次包含Zr粘附层、ZrNx过渡层、ZrN支持层和依次由ZrN层、NbN层、ZrN层及AlN层交替构成的多层结构的表面耐磨层,其中，X为0至1。
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