[发明专利]一种固态薄膜电容器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种固态薄膜电容器及其制备方法，该电容器包括下部电极(1)、活性氧化铝薄膜(2)、上部电极(3)、阳极氧化膜(4)及衬底基片(5)，下部电极(1)涂覆在衬底基片(5)表面上，活性氧化铝薄膜(2)设置在上部电极(3)和下部电极(1)之间，活性氧化铝薄膜(2)与上部电极(3)、下部电极(1)的界面处为一层通过电化学方法形成的具有自修复功能的阳极氧化膜(4)。与现有技术相比，本发明的结构和制备工艺简单，适用于大规模批量生产，所用原料成本低廉，而且采用的是固态薄膜作为电介质，内部不存在电解液，使用安全可靠。

主权项

一种固态薄膜电容器，其特征在于，该电容器包括下部电极(1)、活性氧化铝薄膜(2)、上部电极(3)、阳极氧化膜(4)及衬底基片(5)，所述的下部电极(1)涂覆在衬底基片(5)表面上，所述的活性氧化铝薄膜(2)设置在上部电极(3)和下部电极(1)之间，活性氧化铝薄膜(2)与上部电极(3)、下部电极(1)的界面处为一层通过电化学方法形成的具有自修复功能的阳极氧化膜(4)；所述的固态薄膜电容器的制备方法是在衬底基片(5)表面上依次制备一层或多层固态薄膜电容器单元，将制备好的电容器单元和电容器单元组合，通过绝缘介质进行封装固化，再进行两端引线，从而制得固态薄膜电容器，其中，所述的固态薄膜电容器单元的制备包括以下步骤：a.将铝醇盐进行研磨，随后加入到醇醚溶剂中进行超声分散20～30min，并于70～80℃恒温搅拌0.5h～1h，再加入乙酰丙酮，70～80℃恒温搅拌0.5h～1h，最后再加入冰醋酸，于90～100℃恒温搅拌0.5h～1h，待反应结束后，逐渐冷却至室温，过滤，制得活性氧化铝溶胶前驱体；b.采用蒸发镀膜法或磁控溅射法在衬底基片上制备一层导电薄膜，作为下部电极；c.将步骤a制得的活性氧化铝溶胶前驱体涂覆在步骤b制得的下部电极(1)表面上，并进行热处理，制得活性氧化铝薄膜(2)；d.采用蒸发镀膜法或磁控溅射法在步骤c制得的活性氧化铝薄膜(2)上制备一层导电薄膜作为上部电极(3)，随后置于潮湿空气中，使活性氧化铝薄膜(2)进行水合反应；e.采用电化学处理法，在活性氧化铝薄膜(2)与下部电极(1)、上部电极(3)的界面上分别进行阳极氧化反应，生成阳极氧化膜(4)，制得固态薄膜电容器单元。