[发明专利]一种微型精确镀膜系统

摘要

本发明公开了一种微型精确镀膜系统，所述微型精确镀膜系统包括反应腔系统、反应源系统和抽气系统，上部分为反应腔系统，下部分为反应源系统，反应腔系统与反应源系统密封连接，抽气系统与反应腔系统密封连接。本发明首次提出一种微型精确镀膜系统的一体化设计，专门适用于研究性领域工具化使用，本装置的优点是体积小不占空间，外观尺寸只有350*350*400mm，可直接放于桌面上；反应腔体实际空间小，且采用烘烤式加热方式，温场均匀，节约反应源用量；操作简单，只需输入沉积薄膜厚度，系统会自动匹配参数运行；相对于市面在售镀膜系统，设备使用以及维护成本低。

主权项

一种微型精确镀膜系统，其特征在于：所述微型精确镀膜系统包括反应腔系统、反应源系统和抽气系统，上部分为反应腔系统，下部分为反应源系统，反应腔系统与反应源系统密封连接，抽气系统与反应腔系统密封连接，其中，所述反应腔系统包括真空腔室、反应源入口、抽气出口、样品入口和腔室加热装置，反应源入口、抽气出口、样品入口与真空腔室密封连通，反应源从反应源系统流出后通过反应源入口进入真空腔室，残留的反应源以及副产物由抽气出口排出反应腔系统，样品通过样品入口进入真空腔室；所述反应源系统包括反应源容器和反应源出口，反应源容器和反应源出口之间设有阀门，控制反应源的流出，所述反应源出口与反应腔系统的反应源入口相连；所述抽气系统与反应腔系统的抽气出口相连。