[发明专利]一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置

摘要

本发明公开了一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，包括工作腔，所述工作腔包括内腔和外壁，内腔和外壁之间设有用于流动冷却剂的冷却夹层；所述内腔的内表面涂覆吸热涂层；所述内腔内设有能进行直线往复运动的传动机构；所述传动机构的上方设有若干支位于同一水平面的并列排布的热辐射灯管；还包括真空泵组；所述真空泵组与所述内腔相连通。本发明的快速退火装置采用面对面的辐射为主的加热，尤其适用于同时处理不同尺寸的玻璃基热色涂层材料；该装置优先加热基片表层的热色涂层材料，避免传统电加热效率低、基片吸热量多、整体温度升高，玻璃应力损耗大安全性能低的缺陷；最终能够保持钢化应力≥90Mpa而满足相关行业使用要求。

主权项

一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，包括工作腔，其特征是：所述工作腔包括内腔和外壁，内腔和外壁之间设有用于流动冷却剂的冷却夹层；所述内腔的内表面涂覆吸热涂层；所述内腔内设有能进行直线往复运动的传动机构；所述传动机构的上方设有若干支位于同一水平面的并列排布的热辐射灯管；还包括真空泵组；所述真空泵组与所述内腔相连通；所述工作腔上设有若干支位于同一水平面的并列排布的玻璃管，所述玻璃管穿过所述工作腔，与工作腔通过耐温胶圈密封连接；所述耐温胶圈上设有冷却保护装置；所述工作腔的两侧设有用于悬挂热辐射灯管的支架，所述支架包括支撑板和设置于支撑板上的支撑杆；所述热辐射灯管设在所述玻璃管内，通过所述支架悬挂安装；所述热辐射灯管距离基片上的热色涂层材料的垂直距离为5～100mm；所述热辐射灯管的两端设有用于防止灯管端头过热的冷却装置；灯管两端外露且悬挂在支撑板上的支撑杆上，在支撑板上还安装有气管，并在气管上预开若干个气孔；气管通气后，气流从气孔流出，对灯管的端头进行冷却。