[发明专利]薄膜形成装置和薄膜形成方法

摘要

本发明提供薄膜形成装置和薄膜形成方法，该装置能够在成膜对象部件的表面形成致密薄膜，其用于使蒸镀材料蒸镀在玻璃基板(2)的表面而在玻璃基板(2)的表面形成薄膜，具备安装有玻璃基板(2)的保持部件(10)；使蒸镀材料蒸发的蒸发部(8)及朝向保持部件(10)对从蒸发部(8)蒸发出的蒸镀材料中照射离子束的离子枪(6)，离子枪(6)包括阳极(26)和阴极(22)；向阳极(26)和阴极(22)之间供给气体并产生等离子体的等离子体供给单元及分别对阳极(26)和阴极(22)施加电压以便在它们之间产生电位差的阳极电源(28)和阴极电源(24)，阴极(22)具有与阴极电源(24)并联连接的2个以上灯丝(22A)。 1

主权项

1.一种薄膜形成装置，其是用于使蒸镀材料蒸镀在成膜对象部件的表面而在所述成膜对象部件的表面形成薄膜的装置，

该薄膜形成装置具备：

保持部件，其安装有所述成膜对象部件；

蒸发部，其使所述蒸镀材料蒸发；以及

离子枪，其朝向所述保持部件对从所述蒸发部蒸发出的蒸镀材料中照射离子束，

所述离子枪包括：

阳极和阴极；

等离子体供给单元，其向所述阳极和阴极之间供给气体并产生等离子体；以及

阳极电源和阴极电源，其分别对所述阳极和阴极施加电压以便在所述阳极和阴极之间产生电位差，

所述阴极具有与所述阴极电源并联连接的2个以上的热电子产生部件。

2.如权利要求1所述的薄膜形成装置，其中，

所述薄膜形成装置进一步具备检测头和检测器，所述检测器具有对在所述检测头上形成的薄膜的厚度进行测定的膜厚传感器，

从所述离子枪照射的离子束的照射方向从连接所述离子枪和所述检测器而成的直线上偏离。

3.如权利要求2所述的薄膜形成装置，其中，

所述检测头是在所述保持部件的中心部设置的监测玻璃，

所述检测器是光学式膜厚传感器，其具有对在所述监测玻璃上形成的薄膜的厚度进行测定的所述膜厚传感器，

从所述离子枪照射的离子束的照射方向从连接所述离子枪和所述光学式膜厚传感器而成的直线上偏离。

4.如权利要求3所述的薄膜形成装置，其中，

所述保持部件能够以其中心轴为中心转动，

所述离子枪从所述保持部件的中心轴偏移设置，并且按照所照射的离子束的照射方向在所述离子枪和所述保持部件之间与所述保持部件的中心轴交叉的方式倾斜设置。

5.如权利要求3所述的薄膜形成装置，其中，所述监测玻璃设置在所述保持部件的中心轴上。

6.如权利要求3所述的薄膜形成装置，其中，所述膜厚传感器设置在所述保持部件的中心轴上。

7.如权利要求3所述的薄膜形成装置，其中，所述离子枪与所述保持部件的距离为50cm以上。

8.如权利要求1所述的薄膜形成装置，其中，成膜对象部件为透镜。

9.一种薄膜形成方法，其是使蒸镀材料蒸镀在成膜对象部件的表面而在所述成膜对象部件的表面形成薄膜的方法，其中，

该薄膜形成方法具备：

蒸发步骤，使所述蒸镀材料蒸发；以及

照射步骤，利用离子枪朝向所述成膜对象部件对所述蒸发出的蒸镀材料中照射离子束，

所述离子枪包括：

阳极和阴极；以及

阳极电源和阴极电源，其分别对所述阳极和阴极施加电压，

所述阴极具有与所述阴极电源并联连接的2个以上的灯丝，

在所述照射步骤中，对阳极和阴极之间供给等离子体，

利用所述阳极电源对所述阳极施加电压，同时对所述由2个以上的灯丝构成的阴极施加电压，以便在所述阳极和阴极之间产生电位差。