[发明专利]声表面波电流传感器

摘要

本发明涉及一种SAW电流传感器，所述传感器包括：压电基片，作为振动膜；第一路反射器，包括用以参考的第一叉指型反射器和用以测量电流的第二叉指型反射器；第二路反射器，用作电子标签；薄层膜，涂覆在第一路反射器、第二路反射器上；通过无线天线接收读取模块发送的第一电磁波信号，通过所述EWC/SPUDT将所述第一电磁波信号转换成沿压电基片表面传播的SAW，所述SAW被所述第一路反射器、第二路反射器反射后，被所述EWC/SPUDT转换成第二电磁波信号，所述第二电磁波信号通过所述无线天线传回所述读取单元，通过信号处理方法，通过获取所述SAW电流传感器的时域响应的信号变换以进行电流检测。

主权项

一种声表面波SAW电流传感器，其特征在于，所述SAW电流传感器包括：压电基片(7)，作为振动膜，在其上设置有控制电极宽度单相单向换能器EWC/SPUDT(8)，第一路反射器，第二路反射器，磁敏电阻(11)，薄层膜(17)，并在沿该压电基片表面的上下边涂覆的2条导电膜(6)，在所述2条导电膜(6)中间涂覆的第一吸声胶(15)，在沿压电基片长边所述第一吸声胶(15)的对端涂覆第二吸声胶(15’)；所述第一路反射器，包括第一叉指型反射器(9)和第二叉指型反射器(10)，所述第一叉指型反射器(9)用以参考，所述第二叉指型反射器(10)和所述磁敏电阻(11)耦合，用以测量电流；所述第二路反射器，用作电子标签，包括第一短路栅反射器(12)、第二短路栅反射器(13)和第三短路栅反射器(14)；薄层膜(17)，涂覆在所述EWC/SPUDT(8)、第一叉指型反射器(9)、第二叉指型反射器(10)、第一短路栅反射器(12)、第二短路栅反射器(13)、第三短路栅反射器(14)上；通过无线天线(4)接收读取模块(3)发送的第一电磁波信号(1)，通过所述EWC/SPUDT(8)将所述第一电磁波信号转换成沿压电基片(7)表面传播的SAW，所述SAW被所述第一路反射器、第二路反射器反射后，被所述EWC/SPUDT(8)转换成第二电磁波信号(2)，所述第二电磁波信号(2)通过所述无线天线(4)传回所述读取单元(3)，通过信号处理方法，通过获取所述SAW电流传感器的时域响应的信号变换以进行电流检测。