[发明专利]一种太赫兹时域光谱系统及其测量方法在审
申请号: | 201410205700.4 | 申请日: | 2014-05-15 |
公开(公告)号: | CN103969215A | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 宝日玛;董晨;赵昆;孟倩;王蕊 | 申请(专利权)人: | 中国石油大学(北京) |
主分类号: | G01N21/3586 | 分类号: | G01N21/3586;G01N21/3563;G01N15/08 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 汤在彦 |
地址: | 102249*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种太赫兹时域光谱系统,包括太赫兹发射装置、接收探测装置以及样品台,所述样品台包括平移台,带动样品移动使其离开焦点处,达到需要的光斑尺寸位置处进行测量。本发明利用传统的太赫兹光路与带平移台和旋转台的样品台,实现了对样品中的某个面的缺陷以及样品均匀性的检验,能够快速反映样品宏观上的整体信息。 | ||
搜索关键词: | 一种 赫兹 时域 光谱 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
一种太赫兹时域光谱系统,包括太赫兹发射装置、接收探测装置以及样品台,其特征在于,所述样品台包括平移台,带动样品移动使其离开焦点处,达到需要的光斑尺寸位置处进行测量。
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