[发明专利]线性调频双光束激光外差测量电致伸缩系数的装置及其方法

摘要

线性调频双光束激光外差测量电致伸缩系数的装置及其方法，属于电致伸缩系数测量领域。为了解决目前测电致伸缩系数的方法精度不高的问题。它线性调频激光器、第一平面反射镜、薄玻璃板、第二平面反射镜、二维调整架、会聚透镜、光电探测器和信号处理系统；对被测压电陶瓷管加电压，光电探测器开始接收光束信号，信号处理系统连续采集光电探测器输出的光电流，并对采集到的差频信号进行处理，根据频率与距离之间的关系获得薄玻璃板与第二平面反射镜之间的当前距离，再根据电致伸缩系数的公式，获得被测压电陶瓷管的电致伸缩系数。本发明用于测量电致伸缩系数。

主权项

线性调频双光束激光外差测量电致伸缩系数的装置，其特征是在于，所述装置包括线性调频激光器(1)、第一平面反射镜(2)、薄玻璃板(3)、第二平面反射镜(4)、二维调整架(5)、会聚透镜(6)、光电探测器(7)和信号处理系统； 线性调频激光器(1)发出的激光入射至第一平面反射镜(2)，经第一平面反射镜(2)反射至薄玻璃板(3)，并经薄玻璃板(3)分成一号反射光和折射光；所述折射光入射至第二平面反射镜(4)的一个面，经所述第二平面反射镜(4)的一个面反射后的光与一号反射光均入射至会聚透镜(6)，经会聚透镜(6)会聚至光电探测器(7)的光信号接收端，光电探测器(7)的光电流信号输出端与信号处理系统的光电流信号输入端连接； 所述薄玻璃板(3)和第二平面反射镜(4)平行且等高； 被测压电陶瓷管(12)的一端与二维调整架(5)固定连接，被测压电陶瓷管(12)的另一端与第二平面反射镜(4)的另一个面固定连接。