[发明专利]探针单元以及基板检查装置

摘要

本发明提供一种探针单元及基板检查装置。在使耐久性提高的同时防止探针的基端部与电极之间发生错位。探针单元包括探针(11)、支承部(12)、以及具有电极(81)的电极板(13)，支承部(12)包括：支承探针(11)的前端部的支承板(41、42)；支承探针(11)的基端部并且以与电极板(13)相抵接的状态进行固定的支承板(43、44)；配置在支承板(42)与支承板(43)之间的间隔件(33)；以及间隙调整机构(34)，该间隙调整机构(34)在接触对象与下表面(41a)未接触的非接触状态下维持间隔件(33)与支承板(41)之间产生间隙(G1)的状态，并且在探针单元(2)被按压向接触对象的按压状态下容许间隙(G1)的缩小，不管是在非接触状态下还是按压状态下，都维持在探针(11)的基端部与电极(81)相接触且前端部未从下表面(41a)突出的状态。

主权项

一种探针单元，包括：多个探针，使该多个探针的前端部与接触对象相接触以用于进行电信号的输入输出；支承部，该支承部支承各探针；以及电极板，该电极板具有与所述各探针的各基端部分别相接触以用于与外部装置之间进行所述电信号的输入输出的多个电极，其特征在于，所述支承部包括：第一支承板，该第一支承板具有第一支承孔以支承插通到该第一支承孔中的所述探针的所述前端部，并且在使该前端部与所述接触对象相接触时所述第一支承板的一个表面与该接触对象相接触；第二支承板，该第二支承板具有第二支承孔以支承插通到该第二支承孔中的所述探针的所述基端部，并且以与所述电极板相抵接的状态固定在该电极板上；间隔件，该间隔件配置在所述第一支承板与第二支承板之间且维持各支承板分隔开的状态；以及间隙调整机构，该间隙调整机构在所述接触对象与所述一个表面未接触的非接触状态下，维持所述间隔件与所述第一支承板之间以及所述间隔件与所述第二支承板之间至少有一方产生间隙的状态，并且在该接触对象与该一个表面相接触且该探针单元被按压向该接触对象的按压状态下容许该间隙缩小，所述支承部支承所述探针以使得不管是在所述非接触状态下还是所述按压状态下，都维持在所述基端部与所述电极相接触且所述前端部未从所述一个表面突出的状态，并且在所述按压状态下直到所述间隙消失为止的过程中所述前端部与所述接触对象相接触。