[发明专利]一种机械扫描装置在审
| 申请号： | 201410209360.2 | 申请日： | 2014-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN105097395A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 梁旭 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机械扫描装置，包括：旋转驱动装置(1)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其中旋转驱动装置(1)驱动侧向调节连杆机构(2)带动气浮轴模块(4)上下运动，其中气浮垫模块(3)在其中起导向作用。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种机械扫描装置，包括：旋转驱动装置(1)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其特征在于：旋转驱动装置带动气浮轴上下运动从而实现机械扫描束流。
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