[发明专利]高能电子注入式半导体激光器

摘要

本发明属于仪器设备技术领域，尤其涉及一种高能电子注入式半导体激光器，所述套管内设有谐振腔、回气腔、放电腔，所述回气腔内部设有储气套管，所述储气套管上设有贮气瓶、镇气瓶、气压监测器，所述贮气瓶、镇气瓶之间设有电磁真空充气阀，所述镇气瓶、气压检测器之间设有波纹管，所述气压检测器部分位于所述回气腔内，部分穿过回气腔位于所述回气腔外面，所述导体阳极由外及内依次为上电极、上光限制层、上波导层、下波导层、下光限制层、背电极层，所述上波导层、下波导层之间设有有源层，所述下光限制层、背电极层之间设有衬底，所述上光限制层的截面形状为脊波导。

主权项

 一种高能电子注入式半导体激光器，其特征在于：包括套管，所述套管内设有谐振腔、回气腔、放电腔，所述谐振腔、回气腔、放电腔相通且所述回气腔位于所述谐振腔与放电腔之间，所述谐振腔内设有石英片，所述石英片外面套有石墨环，所述石墨环上设有放电毛细管，所述放电毛细管成一水平直线，所述石英片一端设有导体阳极，所述导体阳极外面套有隔热管，所述隔热管外面套有布氏窗，所述布氏窗一端位于所述谐振腔内，另一端穿过所述套管位于套管外面，所述谐振腔外面设有空心圆筒，所述空心圆筒内设有磁场线圈，所述放电腔内设有导体阴极，所述导体阴极内部对称设有反射镜A、反射镜B，所述反射镜A、反射镜B之间设有保热管，所述导体阴极一侧设有加热灯丝，所述加热灯丝一端穿过套管位于套管外面，所述加热灯丝水平设置，所述回气腔内壁设有冷水管道，所述冷水管道一侧设有进水口，另一侧设有出水口，所述回气腔内部设有储气套管，所述储气套管上设有贮气瓶、镇气瓶、气压监测器，所述贮气瓶、镇气瓶之间设有电磁真空充气阀，所述镇气瓶、气压检测器之间设有波纹管，所述气压检测器部分位于所述回气腔内，部分穿过回气腔位于所述回气腔外面，所述导体阳极由外及内依次为上电极、上光限制层、上波导层、下波导层、下光限制层、背电极层，所述上波导层、下波导层之间设有有源层，所述下光限制层、背电极层之间设有衬底，所述上光限制层的截面形状为脊波导。