[发明专利]带电粒子束轨迹控制装置

摘要

带电粒子束轨迹控制装置，涉及电子离子光学设备。设有电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列、下电极板阵列和分压电阻；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并镜向对称安装；在上绝缘板和下绝缘板上沿着带电粒子束飞行方向上电极板阵列和下电极板阵列构成2行电极板，每条电极板之间等距分布排列；上电极板阵列和下电极板阵列上的每条电极板通过分压电阻分压具有不同的电位。不受带电粒子束的位置影响，对距离电极板不同位置的带电粒子均以同一角度偏转；通过调节合适的电参数，就能使带电粒子按照预定的轨迹到达指定位置；从根本上解决了粒子束角发散的问题。

主权项

带电粒子束轨迹控制装置，其特征在于设有电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列、下电极板阵列和分压电阻；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并镜向对称安装；在上绝缘板和下绝缘板上沿着带电粒子束飞行方向上电极板阵列和下电极板阵列构成2行电极板，每条电极板之间等距分布排列；上电极板阵列和下电极板阵列上的每条电极板通过分压电阻分压具有不同的电位；工作时，所述上电极板阵列的电压施加在所述上电极板阵列的最左端电极板和所述上电极板阵列的最右端电极板之间，所述下电极板阵列的电压施加在所述下电极板阵列的最左端电极板和所述下电极板阵列的最右端电极板之间，其余中间部分的电极板通过电阻分压获得；所述上电极板阵列的最左端电极板和下电极板阵列的最右端电极板形成对角，上电极板阵列的最右端电极板和下电极板阵列的最左端电极板形成对角；其中一对角位置的电极板电位是同电位，记为V0；另一对角上的两电极板电位一个高于V0，一个低于V0，且另一对角上的两电极板电位与V0电位差的绝对值相等，为V0±ΔV，即在两列电极板上得到的是相反梯度变化的电位；最后在电极板阵列之间形成一个原点对称的电场；带电粒子束由电极固定板的左侧进入，在上电极板与下电极板之间形成的电场力作用下，以一定角度偏转并由电极固定板的右侧射出；通过调整上侧电极板和下侧电极板所加的电压，改变偏转角度大小，实现对带电粒子轨迹的控制。