[发明专利]一种标度因子可调节的电容挠性加速度计

摘要

本发明公开了一种标度因子可调节的电容挠性加速度计。包括检验质量，一对差分电容器，传感器，计算模块，以及静电执行机；检验质量通过挠性结构连接固定的框架，一对差分电容器包括两个运动极板和两个固定极板，两个运动极板由检验质量两侧面上的金属镀层构成，两个固定极板对称设置在检验质量的两侧，且分别与两个运动极板正对；两个运动极板连接传感器的输入端，传感器的输出端连接计算模块的输入端，计算模块的输出端连接静电执行机的输入端，静电执行机的输出端连接两个运动极板。本发明可实现对标度因子的大范围调节，能广泛用于旋转加速度计重力梯度仪中，有效抑制沿转台平面的平动加速度噪声，以及沿转台转轴的角加速度噪声。

主权项

一种电容挠性加速度计，其特征在于，包括检验质量(1)，一对差分电容器，传感器(7)，计算模块(8)，以及静电执行机(9)；所述检验质量(1)通过挠性结构(2)连接固定的框架(3)，所述一对差分电容器包括两个运动极板和两个固定极板，其中，两个运动极板由所述检验质量(1)两侧面上的金属镀层(4)构成，两个固定极板(5)对称设置在所述检验质量(1)的两侧，且分别与两个运动极板正对；两个运动极板连接所述传感器(7)的输入端，所述传感器(7)的输出端连接所述计算模块(8)的输入端，所述计算模块(8)的输出端连接所述静电执行机(9)的输入端，所述静电执行机(9)的输出端连接两个运动极板；所述传感器(7)用于将所述检验质量(1)的位移量转换成电压信号，所述计算模块(8)用于根据所述传感器(7)输出的电压信号计算需要施加到两个运动极板上的电压，所述静电执行机(9)用于产生作用于两个运动极板的反馈电压，使所述检验质量(1)回复到平衡位置。