[发明专利]一种高精度激光散斑微振动测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 201410213410.4 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN103983341B | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 王程;王晓忠;付宏燕;黄朝红 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙)44309 | 代理人： | 刘辉,廉红果 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度激光散斑微振动测量系统，包括成像透镜、分束器、空间光调制器、光探测器及调制器驱动系统，所述成像透镜、分束器、空间光调制器及光探测器依次光连接，所述调制器驱动系统与所述分束器光连接，并输出驱动信号到空间光调制器。本发明采用自适应的空间光调制器代替空间光滤波器，能够根据环境的变换进行自适应调整，使得空间光的透过率随着测量环境的变化而变化，从而提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 激光 散斑微 振动 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
一种高精度激光散斑微振动测量系统，其特征在于：包括带通滤波器、成像透镜、分束器、空间光调制器、光探测器及调制器驱动系统，所述带通滤波器设于所述成像透镜前端的光路上，其波长与激光光源波长一致，所述空间光调制器为透过型空间光调制器，所述成像透镜、分束器、空间光调制器及光探测器依次光连接并位于同一轴线上，所述调制器驱动系统包括成像装置及控制驱动模块，所述成像装置与所述分束器光连接并输出散斑图样到控制驱动模块进行处理，所述控制驱动模块输出驱动信号到空间光调制器。
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