[发明专利]一种光学材料折射率的精密测量装置及方法有效
申请号: | 201410214584.2 | 申请日: | 2014-05-20 |
公开(公告)号: | CN103954589A | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 董敬涛;张琦;吴周令;陈坚;赵建华;陶海征 | 申请(专利权)人: | 合肥知常光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41;G01B11/06 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人: | 金凯 |
地址: | 230031 安徽省合肥市高新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种光学材料折射率的精密测量装置及方法,该装置及方法能够实现宽光谱分析法和法布里-珀罗干涉法的结合,通过全局残差分析,得到精确的光学材料厚度和折射率,通过对宽光谱法布里-珀罗干涉系统进行光谱分析,可以得出某个连续波段下光学材料的折射率色散曲线。本发明提高了折射率的测量精度,利用绝大多数光学材料自身的平行平板结构形成稳定的干涉腔,减小了空气扰动对干涉信号稳定性的影响,避免了将光学材料加工为特殊的形状,实现了光学材料的无损测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学材料 折射率 精密 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种光学材料折射率的精密测量装置,其特征在于:该装置包括宽光谱光源,所述宽光谱光源的输出光路上设有第一分光镜,所述第一分光镜的反射光路上设有光功率计,所述第一分光镜的透射光路上设有被测样品;所述被测样品的反射光路上设有第二分光镜,所述第二分光镜的反射光路上设有零度入射角校准装置;所述被测样品的透射光路上依次设有透镜和光谱仪;所述被测样品固定于位移装置上;所述宽光谱光源、光功率计、零度入射角校准装置、光谱仪和位移装置均与计算机交互式信号连接。
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