[发明专利]平面抛光盘表面形状误差的检测装置有效
| 申请号： | 201410215066.2 | 申请日： | 2014-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN103954237B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;赵世杰;谢瑞清;陈贤华;王健;许乔;钟波;袁志刚;邓文辉;唐才学;徐曦;周炼 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测精度较高的抛光盘表面形状误差的检测装置。平面抛光盘表面形状误差的检测装置，设置有支撑座，在所述支撑座上端设置有横梁，在所述横梁上设置有导轨和电机，所述电机包括定子和动子，移动块通过滑块设置在所述动子和导轨上，并能沿着所述导轨左右移动，在所述移动块上设置有可调支架，所述可调支架与激光位移传感器连接，所述激光位移传感器由探测头、数据连接线和PC机组成，在所述探测头下设置有可调平台。本发明由于采用高稳定性导轨和高精度位移传感器，并且通过检测平面标准镜获得导轨的误差，因此可实现抛光盘表面形状的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 抛光 表面 形状 误差 检测 装置 | ||
【主权项】：
平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：设置有支撑座(2)，在所述支撑座(2)上端设置有横梁(3)，在所述横梁(3)上设置有导轨(4)和电机，所述电机包括定子(5)和动子(8)，移动块(7)通过滑块(6)设置在所述动子(8)和导轨(4)上，并能沿着所述导轨(4)左右移动，在所述移动块(7)上设置有可调支架(10)，所述可调支架(10)与激光位移传感器连接，所述激光位移传感器包括探测头(11)和数据连接线(12)，所述激光位移传感器与PC机连接，在所述探测头(11)下设置有可调平台(14)，所述探测头(11)的位置和高度通过可调支架(10)调节。
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