[发明专利]高动态范围激光远场焦斑测量装置及方法有效
申请号: | 201410216270.6 | 申请日: | 2014-05-21 |
公开(公告)号: | CN104034416A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 段亚轩;陈永权;龙江波;赵建科;田留德;李坤;薛勋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G01B11/00;G01M11/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 姚敏杰 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种高动态范围激光远场焦斑测量装置及方法,该高动态范围激光远场焦斑测量装置包括激光缩束/扩束系统、衰减楔板、分光镜、科学级CCD探测器、微透镜阵列、CCD探测器以及控制计算机;激光缩束/扩束系统、衰减楔板以及分光镜依次设置在同一光路上;分光镜将入射至分光镜的光分为透射光以及反射光;科学级CCD探测器设置在经分光镜后的反射光所在光路上;微透镜阵列以及CCD探测器依次设置在经分光镜后的折射光所在光路上;科学级CCD探测器以及CCD探测器分别与控制计算机相连。本发明提供了一种可实现对高动态范围激光远场焦斑动态测量、并很好保证测量精度的测量装置及方法。 | ||
搜索关键词: | 动态 范围 激光 远场焦斑 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种高动态范围激光远场焦斑测量装置,其特征在于:所述高动态范围激光远场焦斑测量装置包括激光缩束/扩束系统、衰减楔板、分光镜、科学级CCD探测器、微透镜阵列、CCD探测器以及控制计算机;所述激光缩束/扩束系统、衰减楔板以及分光镜依次设置在同一光路上;所述分光镜将入射至分光镜的光分为透射光以及反射光;所述科学级CCD探测器设置在经分光镜后的反射光所在光路上;所述微透镜阵列以及CCD探测器依次设置在经分光镜后的折射光所在光路上;所述科学级CCD探测器以及CCD探测器分别与控制计算机相连。
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