[发明专利]一种保持清洗机的清洗药剂浓度恒定的方法

摘要

本发明公开了一种保持清洗机的清洗药剂浓度恒定方法，它包括以下步骤：A、测量清洗机工作槽中清洗药剂的当前浓度；B、将测得的当前浓度输入控制器，与工艺期望浓度比较得出实际偏差率；C、控制器预存有多个不同数值范围的设定偏差率，每个设定偏差率分别对应地存储有一个用于将清洗机中清洗药剂的浓度恢复至工艺期望浓度的清洗药剂设定补偿量，将步骤B的得出的实际偏差率与各个设定偏差率作比较，当实际偏差率的数值属于其中一个设定偏差率的数值范围时，则选定该设定偏差率所对应的设定补偿量为实际补偿量；D、按实际补偿量向清洗机工作槽中添加清洗药剂；上述步骤依次连续地进行。

主权项

一种保持清洗机的清洗药剂浓度恒定的方法，其特征在于，它包括以下步骤：A、测量清洗机工作槽中清洗药剂的当前浓度；B、将测得的当前浓度输入控制器，控制器将当前浓度与工艺期望浓度比较得出实际偏差率；C、控制器预存有多个不同数值范围的设定偏差率，多个设定偏差率的数值范围的并集为{大于等于零且小于等于清洗机允许的清洗药剂浓度的最大偏差值}，每个设定偏差率分别对应地存储有一个用于在该设定偏差率下将清洗机中清洗药剂的浓度恢复至工艺期望浓度的清洗药剂设定补偿量，设定补偿量大于等于零，将步骤B的得出的实际偏差率与各个设定偏差率作比较，当实际偏差率的数值属于其中一个设定偏差率的数值范围时，则选定该设定偏差率所对应的设定补偿量为实际补偿量；D、按实际补偿量向清洗机工作槽中添加清洗药剂；上述步骤A～D依次且循环地进行。