[发明专利]一种聚焦离子束机台之探针的降震装置及其降震方法有效
| 申请号： | 201410217853.0 | 申请日： | 2014-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN103969104B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘永波;顾晓芳;倪棋梁;龙吟;陈宏璘 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/36 | 分类号： | G01N1/36 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种聚焦离子束机台之探针的降震装置，包括真空罩，所述真空罩扣合在探针之外端处，并与所述探针围闭形成密闭空间，且所述密闭空间呈真空设置。综上所述，本发明通过在探针之外端的外围处设置真空罩，所述真空罩并与所述探针围闭形成密闭空间，且所述密闭空间呈真空设置，阻碍了震动波的传播，极大的改善了外部环境对所述聚焦离子束机台之探针带来的震动影响，降低样品抖落的机会，改善了样品制备的效率和工艺产品的循环时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚焦 离子束 机台 探针 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种聚焦离子束机台之探针的降震装置，其特征在于，所述聚焦离子束机台之探针的降震装置包括：真空罩，所述真空罩扣合在探针之外端处，并与所述探针围闭形成密闭空间，且所述密闭空间呈真空设置，所述探针的近端在真空罩之外。
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