[发明专利]一种润滑薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种润滑薄膜的制备方法，包括：对基底表面上的薄膜层进行预处理；旋涂光刻胶，加热后紫外固化形成中间层；形成紫外光固化纳米压印胶层；将软质压印模板压入紫外光固化纳米压印胶层，在紫外灯下曝光；刻蚀去除未曝光处残余的紫外光固化纳米压印胶，露出中间层；以紫外光固化纳米压印胶层作为掩膜层，刻蚀中间层，露出薄膜层；以紫外光固化纳米压印胶层和中间层作为掩膜，刻蚀薄膜层，在薄膜层上形成微纳结构；去除紫外光固化纳米压印胶层和中间层，获得所需润滑薄膜。本发明利用软压印复合纳米压印技术，有效地将所需的图案转移到薄膜上，可以在不规则的非平面上制备微纳结构的润滑薄膜。具有高效，低成本，高分辨率的特点。

主权项

 一种润滑薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)对基底表面上的薄膜层进行预处理，以去除表面灰尘；(2)在薄膜层上旋涂SU‑8光刻胶，加热后紫外固化，形成中间层；(3)在中间层上旋涂紫外光固化纳米压印胶，形成紫外光固化纳米压印胶层；(4) 将软质压印模板压入紫外光固化纳米压印胶层，在紫外灯下曝光，曝光结束后移去软质压印模板，所述软质压印模板的下表面上设微纳结构图案； (5)刻蚀去除压印时残留的紫外光固化纳米压印胶，露出中间层；(6)以紫外光固化纳米压印胶层作为掩膜层，刻蚀中间层的SU‑8光刻胶，露出薄膜层；(7)以紫外光固化纳米压印胶层和中间层作为掩膜，刻蚀薄膜层，在薄膜层上形成微纳结构；(8)去除紫外光固化纳米压印胶层和中间层，获得所需润滑薄膜。