[发明专利]一种测量激光光束质量的装置、方法及光路准直方法

摘要

本发明公开了一种测量激光光束质量的装置、方法及光路准直方法，解决了现有激光光束质量测量系统放置激光器后需要花费大量时间进行手动准直的问题。本发明包括激光器，第一衰减片，第二衰减片，全反射棱镜，反射镜，图像采集模块，光束传输距离调节模块，光束传输角度调节模块，数据处理模块。本发明通过光束传输距离调节模块和数据处理模块测量出不同光束传输距离下的光斑中心位置计算出光束偏离角度，从而通过光束传输角度调节模块对激光光束传输方向进行调整，达到使激光光束能够垂直入射到图像采集模块的目的，实现自动准直的功能。因为采用了自动准直，相较人工准直，这样也提高了测量精度。

主权项

一种测量激光光束质量的装置，其特征在于，包括激光器(1)，图像采集模块(2)，反射镜(3)，全反射棱镜(4)，第一衰减片(5)，第二衰减片(6)，光束传输距离调节模块(7)，光束传输角度调节模块(8)和数据处理模块(9)；所述反射镜(3)与所述光束传输角度调节模块(8)固定连接，通过所述光束传输角度调节模块(8)调节所述反射镜(3)的偏转角度来控制光束传输角度；所述全反射棱镜(4)设置在光束传输距离调节模块(7)上，通过所述全反射棱镜(4)在所述光束传输距离调节模块(7)上移动来控制光束传输距离；所述第一衰减片(5)、所述第二衰减片(6)和所述图像采集模块(2)依次设置在所述全反射棱镜(4)的反射光路上；所述图像采集模块(2)、所述光束传输距离调节模块(7)和所述光束传输角度调节模块(8)分别与所述数据处理模块(9)连接；所述激光器(1)输出的光束经所述反射镜(3)反射后入射至所述全反射棱镜(4)，经所述全反射棱镜(4)反射的光依次通过所述第一衰减片(5)和第二衰减片(6)后入射至所述图像采集模块(2)；所述图像采集模块(2)采集不同传输距离的光斑信号，数据处理模块(9)对光斑信号进行处理，当光斑饱和时反馈控制所述第二衰减片(6)对光斑强度进行调节；当光斑不饱和时，控制所述光束传输距离调节模块(7)对光束传输距离进行调节；判断光束是否准直，若否则控制传输角度调节模块(8)对光束传输角度进行调节；若是则获得光束质量参数。