[发明专利]间隙测定装置

摘要

本发明提出一种间隙测定装置，该间隙测定装置能接收来自具有宽度的间隙的特定点的光，而无需在间隙附近配置掩膜。间隙测定装置包括：光源，该光源对测定对象的间隙进行照射；透镜光学系统，该透镜光学系统使由间隙的透过光形成的间隙影像在成像面上成像；以及受光元件，该受光元件接收形成在透镜光学系统的成像面上的间隙影像。在成像面上配置有带孔掩膜，该带孔掩膜具有规定口径的光通过用的孔，受光元件经由孔接收间隙影像。利用透镜光学系统对具有宽度的间隙的像进行成像，能通过在该透镜光学系统的成像面上的希望测定的点设置带孔掩膜的孔，来测定间隙在测定对象的点的间隙尺寸。

主权项

一种间隙测定装置，其特征在于，包括：光源，该光源对测定对象的间隙进行照射；透镜光学系统，该透镜光学系统使通过照射所述间隙而获得的间隙影像在规定位置成像；以及受光元件，该受光元件接收形成在所述透镜光学系统的成像面上的所述间隙影像。