[发明专利]用于图像传感器的介电膜

摘要

本发明提供了一种或多种图像传感器和用于形成这些图像传感器的技术。一种图像传感器包括配置为检测光的光电二极管。该图像传感器包括校准区域，将该校准区域配置为检测用于图像再现的色彩电平，诸如将校准区域配置为检测黑电平的黑校准区域，该黑电平用于通过光电二极管阵列检测的图像。图像传感器包括在光电二极管阵列和校准区域上方形成的介电膜。为改进校准区域的精准度，将介电膜配置为平衡光电二极管和校准区域之间的应力。本发明也提供了用于图像传感器的介电膜。

主权项

1.一种图像传感器，包括：光电二极管阵列，包括配置为检测光的一个或多个光电二极管；校准区域，配置为限定用于图像再现的色彩电平，形成的所述校准区域与所述光电二极管阵列横向间隔开；介电层，形成在所述光电二极管阵列上方，并且与所述光电二极管阵列直接接触，其中，金属栅格形成在所述光电二极管阵列和所述介电层之间，所述金属栅格配置为引导光朝向所述光电二极管阵列；以及介电膜，形成在所述光电二极管阵列和所述校准区域上方并且与所述介电层接触，所述介电膜具有在所述光电二极管阵列和所述校准区域上方延伸的平坦底面。