[发明专利]一种追踪半导体产品队列时间的系统及方法

摘要

本发明提供一种追踪半导体产品队列时间的系统及方法，至少包括：多个工艺机台；与每个所述工艺机台连接的客户端；与每个客户端连接的服务器；与服务器连接的产品异常处理模块；与产品异常处理模块连接的数据库模块；所述数据库模块同时连接于所述服务器；产品异常处理模块用于接收来自服务器的超队列时间的产品特征信息、判断是否需要追踪该超队列时间产品的后续工艺步骤的特征信息、访问所述数据库模块以及判断追踪到的超队列时间的产品的后续工艺步骤中的特征信息是否符合安全标准。本发明增加数据的准确性，同时减轻工作人员负担，便于技术人员分析统计数据。

主权项

1.一种追踪半导体产品队列时间的系统，其特征在于，该系统至少包括：多个用于执行所述半导体产品的工艺步骤的工艺机台；与每个所述工艺机台一一对应连接的客户端，所述客户端用于获取所述工艺机台中的产品特征信息；与每个所述客户端连接，用于接收所述客户端发送的产品特征信息并筛选出超队列时间的产品特征信息的服务器；与所述服务器连接的产品异常处理模块；与所述产品异常处理模块连接的数据库模块；所述数据库模块同时连接于所述服务器；所述产品异常处理模块用于接收来自所述服务器的超队列时间的产品特征信息、判断是否需要追踪所述超队列时间产品的后续工艺步骤的特征信息、访问所述数据库模块以及判断追踪到的超队列时间的产品的后续工艺步骤中的特征信息是否符合安全标准；所述数据库模块用于从所述服务器中获取所述产品特征信息并将所追踪的该产品的后续工艺步骤的特征信息反馈给所述产品异常处理模块。