[发明专利]一种调控氮化钽薄膜电阻阻值的方法在审
| 申请号： | 201410224666.5 | 申请日： | 2014-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN103971874A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 庄彤;杨俊锋;李杰成;庄严 | 申请（专利权）人： | 广州天极电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01C17/075 | 分类号： | H01C17/075 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510288 广东省广州市海珠区大干*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种调控氮化钽薄膜电阻阻值的方法，包括：将需要调控的氮化钽薄膜电阻放置于管式气氛炉内；将管式气氛炉的炉口密封好，并连接上真空泵；启动真空泵对管式气氛炉进行抽气，直到管式气氛炉内的气体压强小于或等于1Pa；向管式气氛炉的炉管内通入纯度大于或等于99.99%的氮气，并使炉管内气体压强维持在1.01×105Pa；对管式气氛炉进行加热，加热到炉管内温度为50℃～600℃，然后进行保温，保温时间为5分钟～60分钟；停止加热，关闭氮气，取出热氮化处理后的氮化钽薄膜电阻；对热氮化处理后的氮化钽薄膜电阻的氮原子含量和阻值进行测量对比。本发明步骤简单，操作方便，提高了生产效率，保障了产品结构的完整性和性能的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调控 氮化 薄膜 电阻 阻值 方法 | ||
【主权项】：
一种调控氮化钽薄膜电阻阻值的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1：将需要调控的氮化钽薄膜电阻放置于管式气氛炉内；步骤2：将管式气氛炉的炉口密封好，并连接上真空泵；步骤3：启动真空泵对管式气氛炉进行抽气，直到管式气氛炉内的气体压强小于或等于1Pa；步骤4：向管式气氛炉的炉管内通入纯度大于或等于99.99%的氮气，并使炉管内气体压强维持在1.01×105Pa；步骤5：将氮化钽薄膜电阻进行热氮化处理：对管式气氛炉进行加热，加热到炉管内温度为50℃～600℃，然后进行保温；步骤6：保温结束，停止加热，关闭氮气，取出热氮化处理后的氮化钽薄膜电阻；步骤7：对热氮化处理后的氮化钽薄膜电阻的氮原子含量和阻值进行测量对比，测得的结果与热氮化处理前的氮化钽薄膜电阻的初始值不同，调控成功。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州天极电子科技有限公司，未经广州天极电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410224666.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
