[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置，其具有：具有向卡盘台所保持的被加工物会聚照射激光光线的聚光物镜的激光光线照射构件；检测该卡盘台所保持的被加工物的上表面高度位置的高度位置检测构件；使聚光物镜在与卡盘台的保持面垂直的Z轴方向上移动的聚光点位置调整构件；在X轴方向上加工进给卡盘台的加工进给构件；用于检测卡盘台的X轴方向位置的X轴方向位置检测构件；以及控制构件，其具有存储高度计测值和X坐标的存储构件，使加工进给构件工作而在X轴方向上移动卡盘台所保持的被加工物，同时根据存储构件所存储的与X坐标对应的高度计测值控制聚光点位置调整构件，并且与X坐标对应地在显示构件上显示高度位置检测构件检测的高度信息。

主权项

1.一种激光加工装置，其具有：卡盘台，其具有保持被加工物的保持面；激光光线照射构件，其具有聚光物镜，该聚光物镜向该卡盘台所保持的被加工物会聚照射激光光线；高度位置检测构件，其检测该卡盘台所保持的被加工物的上表面高度位置；聚光点位置调整构件，其使该聚光物镜在Z轴方向上移动，该Z轴方向是相对于该卡盘台的保持面垂直的方向；加工进给构件，其在X轴方向上对该卡盘台和该激光光线照射构件进行相对的加工进给，该X轴方向是加工进给方向；X轴方向位置检测构件，其用于检测该卡盘台的X轴方向位置；以及控制构件，其向该聚光点位置调整构件、该加工进给构件和显示构件输出控制信号，该激光加工装置的特征在于，该控制构件具有存储构件，该存储构件存储高度计测值和X坐标，该高度计测值是通过在使该加工进给构件进行工作而在X轴方向上移动该卡盘台所保持的被加工物的同时使该高度位置检测构件进行工作而计测被加工物的高度位置而得到的，该X坐标是基于来自该X轴方向位置检测构件的检测信号的坐标，该控制构件使该加工进给构件进行工作而在X轴方向上移动该卡盘台所保持的被加工物，同时根据该存储构件所存储的与X坐标对应的高度计测值控制该聚光点位置调整构件，并且与X坐标对应地在显示构件上显示该高度位置检测构件检测到的高度信息，其中，在该显示构件所显示的与X坐标对应的高度信息的摆幅处于允许范围时，该控制构件允许该激光光线照射构件进行工作，在与X坐标对应的高度信息的摆幅不处于允许范围的情况下，该控制构件不允许该激光光线照射构件进行工作，关于该高度信息，其相对于基准高度位置的位移量，在高度位置位移映射图根据输入到该控制构件的来自该X轴方向位置检测构件的检测信号与来自该高度位置检测构件的高度位置信号是在相同时刻被检测到的信号而生成、且没有该聚光点位置调整构件的工作延迟的情况下，该聚光点位置调整构件的工作追随该被加工物的高度位置，从而沿着X轴而成为直线；在高度位置位移映射图根据输入到该控制构件的来自该X轴方向位置检测构件的检测信号与来自该高度位置检测构件的高度位置信号是在时间上产生偏差的信号生成、或者存在该聚光点位置调整构件的工作延迟的情况下，该聚光点位置调整构件的工作不追随该被加工物的高度位置，该高度信息相对于基准高度位置的位移量振摆。