[发明专利]用于彩色光阻和有机绝缘膜的剥离组合物

摘要

本发明公开了一种用于彩色光阻和有机绝缘膜的剥离组合物，该剥离组合物包括：季铵化合物；极性溶剂；烷基胺；由上面的式1或式2所示的胺化合物；无机碱或它的盐；及，水。

主权项

1.一种用于彩色光阻和有机绝缘膜的剥离组合物，基于所述剥离组合物的总重量，所述剥离组合物包括：1wt％～10wt％的季铵化合物；40wt％～80wt％的极性溶剂；1wt％～20wt％的烷基胺；1wt％～10wt％的由下面的式1或式2所示的胺化合物；0.001wt％～1wt％的无机碱或它的盐；及，1wt％～40wt％的水：/n[式1]/n /n其中，R₁是C₁～C₆的链状烷氧基或环状烷氧基，并且所述烷氧基可经C₁～C₆的链状烷基或环状烷基取代或者所述烷氧基可经C₁～C₃的烷氧基取代，R₂和R₃各自独立地是氢或C₁～C₆的链状烷基或环状烷基，并且n是1～4的整数，/n[式2]/n /n其中，A是O、S或N，并且R₁是：氢，未经取代的C₁～C₂₀的烷基或经氨基、氰基、羟基或乙烯基取代的C₁～C₂₀的烷基，C₂～C₁₀的烯基，羧基，氨基，未经取代的C₁～C₁₀的烷氧基或经羟基、乙酰基、甲酰基、苯基或苄基取代的C₁～C₁₀的烷氧基；当A是O或S时，R₂不存在；并且，当A是N时，R₂是：氢，C₁～C₁₀的烷基，C₁～C₁₀的羟烷基，未经取代的C₁～C₁₀的烷氧基或经羟基、苯基或苄基取代的C₁～C₁₀的烷氧基，/n其中，上面的式2所示的胺化合物是选自由以下物质组成的组中的至少一种：N-甲基哌嗪、N-乙基哌嗪、N-乙烯基哌嗪、N-乙烯基甲基哌嗪、N-乙烯基乙基哌嗪、N-乙烯基-N’-甲基哌嗪、N-丙烯酰基哌嗪、N-丙烯酰基-N’-甲基哌嗪、羟乙基哌嗪、N-(2-氨基乙基)哌嗪、N,N’-二甲基哌嗪、N-甲基吗啉、N-乙基吗啉、N-苯基吗啉、N-乙烯基吗啉、N-乙烯基甲基吗啉、N-乙烯基乙基吗啉、N-丙烯酰基吗啉、N-可可吗啉、N-(2-氨基乙基)吗啉、N-(2-氰乙基)吗啉、N-(2-羟乙基)吗啉、N-(2-羟丙基)吗啉、N-乙酰基吗啉和N-甲酰基吗啉。/n