[发明专利]一种石墨烯电光调制器结构

摘要

本发明公开了一种石墨烯电光调制器结构，包括光线角度调节部分、石墨烯和共振背反射栅极结构，所述光线角度调节部分由较高折射率的棱镜和较低折射率的介质层构成，石墨烯由较高掺杂的单层或多层石墨烯构成，底层为由多层介质布拉格反射镜或金属薄膜构成的背反射镜，石墨烯和底层之间设有一定厚度的间隔层，同时光线角度调节部分、底层或间隔层植入透明电极层也作为栅极，或是利用底层的金属薄膜构成栅极。本发明能有效地通过调整石墨烯和栅极之间的栅压来调控石墨烯对红外和可见光频率范围内偏振光的吸收，从而调控光的偏振性或是光的强度，以制作低功耗和高效的电光调制器。

主权项

一种石墨烯电光调制器结构，包括光线角度调节部分、石墨烯层和共振背反射背栅极结构，其特征是所述石墨烯层之上是由棱镜和介质层构成的光线角度调节部分，石墨烯层之下为透明绝缘层，绝缘层之下为透明电极层，绝缘层和透明电极层构成的一定厚度的间隔层，底层为由多层介质布拉格反射镜或金属薄膜构成的背反射镜，同时光线角度调节部分或底层或间隔层植入透明电极层作为栅极，或是利用底层的金属薄膜构成栅极，间隔层、背反射镜和栅极构成共振背反射背栅极结构。