[发明专利]超导薄膜的缺陷修补方法、镀膜方法及其制作的超导薄膜在审
| 申请号： | 201410226985.X | 申请日： | 2014-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN105024008A | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 黄昆平;陈锡铨;童迁祥;罗志伟;曾文彦 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;C23C14/04;C23C14/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种超导薄膜的缺陷修补方法、镀膜方法及其制作的超导薄膜。所述缺陷修补方法包括在制作超导薄膜的过程中检测超导薄膜，当检测出其中具有缺陷时，在缺陷所在的位置形成一超导修补结构。 | ||
| 搜索关键词： | 超导 薄膜 缺陷 修补 方法 镀膜 及其 制作 | ||
【主权项】：
一种超导薄膜的缺陷修补方法，其特征在于：所述方法包括：在制作超导薄膜的过程中检测该超导薄膜；以及当检测出该超导薄膜中具有缺陷时，在该缺陷所在的位置形成一超导修补结构。
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