[发明专利]氩气精制方法和氩气精制装置

摘要

本发明提供适合以高收率得到高纯度氩气的方法和装置，该方法和装置在利用变压吸附法进行的氩气的精制中，即使有废气量的变动，也可以降低到更低的压力。本方法通过利用填充有吸附剂的吸附塔(20A～20C)进行的变压吸附法，重复进行包括吸附工序和逆流减压工序的循环，在吸附工序中，在吸附塔为相对高压的状态下，向吸附塔导入混合气体，使该混合气体中的杂质吸附于吸附剂，从该吸附塔导出氩气富集后的气体，在逆流减压工序中，将吸附塔减压，使杂质从吸附剂解吸，从该吸附塔导出气体，该方法将从处于逆流减压工序的吸附塔导出的气体导入到容量变化的储气器(3)，且边将储气器(3)内的压力保持为实质上一定，边将该储气器(3)内的气体导出。

主权项

一种氩气精制方法，其用于从含有氩气的混合气体精制氩气，该氩气精制方法的特征在于：通过利用填充有吸附剂的吸附塔进行的变压吸附法，重复进行包括吸附工序和逆流减压工序的循环，在所述吸附工序中，在所述吸附塔为相对高压的状态下，向所述吸附塔导入所述混合气体，使该混合气体中的杂质吸附于所述吸附剂，从该吸附塔导出氩气富集后的气体，在所述逆流减压工序中，将所述吸附塔减压，使杂质从所述吸附剂解吸，从该吸附塔导出气体，该氩气精制方法将从处于所述逆流减压工序的所述吸附塔导出的气体导入到容量变化的储气器，并且一边将所述储气器内的压力保持为实质上一定，一边导出该储气器内的气体。