[发明专利]一种去除PVD腔体内壁生成物的方法在审
| 申请号： | 201410229615.1 | 申请日： | 2014-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN105215009A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 陆健;王健;夏斯超;李晓良 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/00 | 分类号： | B08B9/00;C23C14/22 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种去除PVD腔体内壁生成物的方法，包括采用双氧水与腔体内壁生成物进行反应；采用去离子水清洁腔体；干燥腔体；对干燥后的腔体进行烘烤；重复上述步骤。与现有技术相比，本发明的方法可达到完全清除附着物的效果，不会对腔体造成损坏，保持良好的制程条件；腔体内残余的双氧水，经过高温烘烤，会反应生成水蒸汽和氧气，经由冷泵抽出腔体，不会在腔体内遗留，对腔体没有任何影响；本发明仅需使用35％浓度双氧水，成本低、见效快，对腔体、制程无任何影响，安全、便捷、可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 pvd 体内 生成物 方法 | ||
【主权项】：
一种去除PVD腔体内壁生成物的方法,其特征在于：其包括：采用双氧水与腔体内壁生成物进行反应；采用去离子水清洁腔体；干燥腔体；对干燥后的腔体进行烘烤；重复上述步骤。
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