[发明专利]一种单晶炉的停炉冷却系统及工艺无效
| 申请号： | 201410230528.8 | 申请日： | 2014-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104005081A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 施承启;张永超;汤波 | 申请（专利权）人： | 上海卡姆丹克太阳能科技有限公司;卡姆丹克太阳能(江苏)有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 王一琦 |
| 地址： | 201314 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶炉的停炉冷却系统，包括单晶炉、过滤器、真空泵，三者顺序连接，单晶炉的排气口设置排气口阀门A，过滤器上设置放气阀B，真空泵的入口设置电磁阀C；排气口阀门A、放气阀B、电磁阀C与统一的控制系统信号连接，由其自动控制开启或关闭。单晶炉拉晶结束后，关闭排气口阀门A，氩气或氮气继续冲入单晶炉；关闭真空泵，同时关闭电磁阀C；当单晶炉内压力接近1个大气压时，自动开启放气阀B；当单晶炉内压力略大于1个大气压时，自动开启排气口阀门A，单晶炉通过放气阀B排(风)气进行冷却。本发明使得气体热对流效果大大加强，单晶炉的冷却时间缩短20％以上；同时大大降低了单晶硅生产的耗能程度，具有节能减排的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 冷却系统 工艺 | ||
【主权项】：
一种单晶炉的停炉冷却系统，包括单晶炉、过滤器、真空泵，三者顺序连接，其特征在于：单晶炉的排气口设置排气口阀门A，过滤器上设置放气阀B，真空泵的入口设置电磁阀C。
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