[发明专利]波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法

摘要

波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法，本发明涉及二氧化钒薄膜及其制备方法。本发明是要解决现有的VO₂薄膜在可见光区的透过率低的技术问题，本发明的波纹结构二氧化钒薄膜，由基片和附着在基片表面的二氧化钒层组成，其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。制法：一、利用射频磁控溅射方法在基片表面制备V₂O₅薄膜；二、热处理使V₂O₅转变成VO₂薄膜；三、离子束溅射自组装，得到波纹结构的VO₂薄膜。本发明的波纹结构二氧化钒薄膜在见光透过率最高接近70％，可作为智能窗使用，而且薄膜具有重复率高，方法简单的特点，适合工业化生产。

主权项

一种波纹结构二氧化钒薄膜，其特征在于该薄膜由基片和附着在基底表面的二氧化钒层组成，其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。