[发明专利]ZnO基溅射靶和具有使用该溅射靶沉积的钝化层的光伏电池无效
| 申请号： | 201410232028.8 | 申请日： | 2014-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104213084A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李伦圭;高榥庸;朴柱玉;徐寿莹 | 申请（专利权）人： | 三星康宁先进玻璃有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;H01L31/0352 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本申请公开了适用于DC溅射的氧化锌(ZnO)基溅射靶以及具有使用该溅射靶沉积的钝化层的光伏电池。该ZnO基溅射靶包括由ZnO制造的烧结体和背板，该ZnO掺杂有10wt％至60wt％的氧化镓，该背板结合于该烧结体的后表面以支撑该烧结体。上述钝化层可防止光吸收层的组成变化降低效率。 | ||
| 搜索关键词： | zno 溅射 具有 使用 沉积 钝化 电池 | ||
【主权项】：
一种氧化锌基溅射靶，包括：烧结体，所述烧结体包含氧化锌，所述氧化锌掺杂有基于所述烧结体重量的10wt％至60wt％的氧化镓；和背板，所述背板结合于所述烧结体的后表面以支撑所述烧结体。
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