[发明专利]太赫兹波检测装置、照相机、成像装置以及测量装置在审
| 申请号： | 201410232960.0 | 申请日： | 2014-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104236721A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 富冈纮斗 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;G01J5/14;G01N21/3581 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及太赫兹波检测装置、照相机、成像装置以及测量装置，能够将太赫兹波高精度地转换成电信号。具备：基底基板(2)、和排列在基底基板(2)的上方的多个第一检测元件(9)，第一检测元件(9)具有吸收太赫兹波(15)而产生热的吸收部(42)、和将由吸收部(42)产生的热转换成电信号的转换部(34)，吸收部(42)具有电介质层(40)、设置在电介质层(40)的一个面的第一金属层(41)、和设置在电介质层(40)的另一个面的第二金属层(33)，多个第一检测元件(9)被排列成在相邻的吸收部(42)之间发生了衍射的太赫兹波(15)入射至电介质层(40)。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 检测 装置 照相机 成像 以及 测量 | ||
【主权项】：
一种太赫兹波检测装置，其特征在于，具备：基板、和被排列在所述基板的上方的多个检测元件，所述检测元件具有：吸收部，其吸收太赫兹波而产生热；和转换部，其将由所述吸收部产生的热转换成电信号，所述吸收部具有：电介质层；第一金属层，其设置在所述电介质层的一个面；以及第二金属层，其设置在所述电介质层的另一个面，所述多个检测元件被排列成在相邻的所述吸收部间发生了衍射的所述太赫兹波入射至所述电介质层。
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