[发明专利]半导体设备的门在审
| 申请号： | 201410235834.0 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105134032A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 雷强;代迎伟;张怀东;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | E06B5/00 | 分类号： | E06B5/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种半导体设备的门，半导体设备置于净化室内，门安装在半导体设备的一个侧面上，门的底部高于地面，门包括：门板和扩展腔，扩展腔由门板向外突出。本发明的半导体设备的门充分利用了净化室内的立体空间，利用扩展腔来扩大半导体设备的内部空间，但又不增加半导体设备的占地面积。同时，通过对扩展腔形状的设计，使得操作人员在净化室内的走动和操作都更加方便和安全。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 | ||
【主权项】：
一种半导体设备的门，其特征在于，所述半导体设备置于净化室内，所述门安装在半导体设备的一个侧面上，所述门的底部高于地面，所述门包括：门板和扩展腔，所述扩展腔由门板向外突出。
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