[发明专利]中空门有效
| 申请号： | 201410236079.8 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105317341B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 方志友;金一诺;张怀东;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | E06B3/70 | 分类号： | E06B3/70;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 施浩 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种中空门，减少热量损失，有利于保持环境温度，能满足半导体晶圆工艺中的某些保温上的需求。其技术方案为：在两块面板之中设计一个用于隔热的中空层，使某一空间内部与外界隔热。相比传统技术，本发明的中空门可使得半导体晶圆工艺中的XeF2刻蚀系统或者涂胶机等需要保持一定环境温度的设备能较好的满足温度上的条件。 | ||
| 搜索关键词： | 中空门 半导体晶圆 刻蚀系统 热量损失 外界隔热 隔热的 涂胶机 中空层 保温 | ||
【主权项】：
1.一种中空门，其特征在于，包括第一面板、第二面板以及夹在该第一面板和第二面板之间的中空层，其中该第一面板和该第二面板上均覆盖一金属镜面涂层，该中空门安装在晶圆制造的刻蚀设备或者涂胶机中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛美半导体设备(上海)有限公司，未经盛美半导体设备(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410236079.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：型材的接合构造和门窗
- 下一篇：一种装饰中空玻璃无框平开窗
- 同类专利
- 专利分类
E06 一般门、窗、百叶窗或卷辊遮帘；梯子
E06B 在建筑物、车辆、围栏或类似围绕物的开口处用的固定式或移动式闭合装置，例如，门、窗、遮帘、栅门
E06B3-00 用于闭合开口的窗扇、门扇或类似构件；固定或活动式闭合器件的布置，例如窗户；用来安装翼扇框的刚性配置的外框
E06B3-01 .用于飞机库或其他厅堂建筑中的可拆卸或消除的墙，例如，供飞机用的
E06B3-02 .全玻璃制翼扇
E06B3-04 .不以移动方式为特征的翼扇框架
E06B3-30 .覆盖物，例如，为了防御气候变化，或装饰需要
E06B3-32 .以移动方式为特征的翼扇的布置；活动式翼扇在开口处的布置；仅和翼扇移动方式有关的翼扇或框架的特征
E06B 在建筑物、车辆、围栏或类似围绕物的开口处用的固定式或移动式闭合装置，例如，门、窗、遮帘、栅门
E06B3-00 用于闭合开口的窗扇、门扇或类似构件；固定或活动式闭合器件的布置，例如窗户；用来安装翼扇框的刚性配置的外框
E06B3-01 .用于飞机库或其他厅堂建筑中的可拆卸或消除的墙，例如，供飞机用的
E06B3-02 .全玻璃制翼扇
E06B3-04 .不以移动方式为特征的翼扇框架
E06B3-30 .覆盖物，例如，为了防御气候变化，或装饰需要
E06B3-32 .以移动方式为特征的翼扇的布置；活动式翼扇在开口处的布置；仅和翼扇移动方式有关的翼扇或框架的特征
